下载氧化钨吸附管的制作方法及实施所述制作方法的镀膜装置的技术资料

文档序号:7796027

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本发明提供一种镀膜装置及利用镀膜装置制作氧化钨吸附管的方法,其中,氧化钨吸附管制作方法包括:将吸附管基管置于座体的承载台上;将钨丝和弹性件跨接在座体上,使得钨丝贯穿吸附管基管;将配置有吸附管基管和钨丝的镀膜装置置于真空环境下,对钨丝进行加电...
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