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一种用于气体流量的自校准控制的方法和设备。一开始通过将节流装置的开放量控制到高精确度来设置气体流率，其中包含节流装置的设备设计使其能够实现高精确度。然后通过节流装置上游的压力下降速率来测量气体流率，如果需要，调节节流装置的开放量以获得精确的...
该专利属于关键系统公司所有，仅供学习研究参考，未经过关键系统公司授权不得商用。

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