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本发明提供了一种混合集成激光器，涉及光电子技术领域，具体包括依次纵向层叠的衬底1、将光实现90度偏转功能的光耦合器2、键合层3和垂直腔面发射激光光源4，本发明所要解决的技术问题是提供一种混合集成激光器及其制备方法，针对现有硅基混合激光器在面...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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