下载一种晶硅太阳能电池去死层方法的技术资料

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本发明一种晶硅太阳能电池去死层方法;属于光伏技术领域。含有以下步骤;步骤1;将原硅片进行制绒;步骤2;进行扩散;步骤3;进行等离子刻蚀;步骤4;进行去磷硅;步骤5;进行HNO3腐蚀;步骤6;进行去磷硅;步骤7;进行PECVD镀膜;步骤8;进...
该专利属于北京吉阳技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京吉阳技术股份有限公司授权不得商用。

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