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含氧的n-型β-硅化铁(FeSi2)及其制造方法技术
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下载含氧的n-型β-硅化铁(FeSi2)及其制造方法的技术资料
文档序号:7787624
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含氧的n-型beta-FeSi2纳米线是经由化学气相沉积法(Chemical?Vapor?Deposition)来合成。在650℃~950℃的温度范围间,经由载流气体(carrier?gas)将前驱物FeCl3运送到硅基板处反应生成n-型β...
该专利属于张嘉峰所有,仅供学习研究参考,未经过张嘉峰授权不得商用。
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