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本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种显示装置、阵列基板、薄膜晶体管及其制作方法。该薄膜晶体管包括栅极、有源层以及位于栅极和有源层之间的栅极绝缘层,有源层为氧化物半导体,栅极绝缘层包括至少一层无机绝缘薄膜。本发明提供的显示装置、阵列基板、薄膜...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种显示装置、阵列基板、薄膜晶体管及其制作方法。该薄膜晶体管包括栅极、有源层以及位于栅极和有源层之间的栅极绝缘层,有源层为氧化物半导体,栅极绝缘层包括至少一层无机绝缘薄膜。本发明提供的显示装置、阵列基板、薄膜...