下载超声波转换器及超声波转换器的制造方法的技术资料

文档序号:778737

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本发明提供一种超声波转换器及其制造方法,可以使通过在固定电极(下电极)的表面上设置凹凸而提高了频率特性的宽频带化及电气信号和声波信号的转换效率的静电型超声波转换器,进一步提高输出声压能级,并且能够容易地对必要的固定电极(下电极)实施细微加工...
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