超声波转换器及超声波转换器的制造方法技术

本发明专利技术提供一种超声波转换器及其制造方法，可以使通过在固定电极（下电极）的表面上设置凹凸而提高了频率特性的宽频带化及电气信号和声波信号的转换效率的静电型超声波转换器，进一步提高输出声压能级，并且能够容易地对必要的固定电极（下电极）实施细微加工处理。该超声波转换器具有在绝缘体上形成有电极层的振动膜，和在与该振动膜相对的面上形成有多个凹凸部的固定电极，通过向形成于所述振动膜的电极层与所述固定电极之间施加交流信号，而产生超声波，并且在所述固定电极的凹凸部的凸部上面形成有槽部。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种超声波转换器，具有：在绝缘体上形成了电极层的振动膜；和在与该振动膜相对的面上形成了多个凹凸部的固定电极，通过向形成于所述振动膜的电极层和所述固定电极之间施加交流信号，而产生超声波，其特征在于，在所述固定电极的凹凸部的凸部上面形成 有槽部。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：松泽欣也，手塚睦人，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]