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本发明公开了一种同步信号触发扫描方式延迟时间测量方法，沿精密移动平台移动的正方向以不同速度等距离触发脉冲信号至空间光调制器，空间光调制器以相同的中心位置曝光两个大小不等的框至基底表面成像，通过测量曝光的框的位置偏差计算出同步脉冲信号输出到空...
该专利属于合肥芯硕半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯硕半导体有限公司授权不得商用。

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