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超小型微腔气体传感器制造技术
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下载超小型微腔气体传感器的技术资料
文档序号:7784860
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本发明涉及一种超小型微腔气体传感器,包括光源、光耦合模块、微腔模块和光谱探测器。所述光耦合模块包括全反射镜、起偏器、透镜和耦合光纤;所述微腔模块包括一维光子晶体纳米腔,该一维光子晶体纳米腔腔体上含有与腔体呈中心对称分布的渐变空气孔和反射镜区...
该专利属于四川大学所有,仅供学习研究参考,未经过四川大学授权不得商用。
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