下载传感器模块、传感器器件及其制造方法、以及电子设备的技术资料

文档序号:7784397

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本发明提供传感器模块、传感器器件及其制造方法、以及电子设备。其中,提供了与多轴对应的传感器模块以及具有该传感器模块的传感器器件。传感器模块具有:支撑部件,其具有相互垂直的三个支撑面;三个IC芯片,其在有源面侧具有连接端子、外部连接端子,沿着...
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