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晶柱检测装置制造方法及图纸
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文档序号:7784321
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本发明有关于一种晶柱检测装置,主要包括有一第一输送单元、一第二输送单元、一第一夹持单元、一第三输送单元及一第二夹持单元,其中第一夹持单元及第二夹持单元用以夹持晶柱。第二输送单元的输送路径上设置有至少一检测单元,而第二输送单元的两端则设置有至...
该专利属于亚亚科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过亚亚科技股份有限公司授权不得商用。
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