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本发明提供利用共焦光学系统计测计测对象物位移的共焦计测装置，能够抑制在对计测对象物的位移进行计测时因光波长而导致的精度变动。本发明是利用共焦光学系统来对计测对象物的位移进行计测的共焦计测装置。共焦计测装置100具有：白色LED21；衍射透镜...
该专利属于欧姆龙株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过欧姆龙株式会社授权不得商用。

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