共焦计测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供利用共焦光学系统计测计测对象物位移的共焦计测装置，能够抑制在对计测对象物的位移进行计测时因光波长而导致的精度变动。本发明专利技术是利用共焦光学系统来对计测对象物的位移进行计测的共焦计测装置。共焦计测装置100具有：白色LED21；衍射透镜1，使从白色LED21出射的光沿光轴方向产生色差；物镜2，配置在比衍射透镜1更靠近计测对象物200的一侧，使通过衍射透镜1而产生色差的光会聚在计测对象物200上；针孔，使通过物镜2而会聚的光中能够聚焦于计测对象物200上的光通过；波长测定部，测定通过了针孔的光的波长。衍射透镜1的焦距大于从衍射透镜1到物镜2的距离和物镜2的焦距之差。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及以非接触方式对计测对象物的位移进行计测的计测装置，特别涉及利用共焦光学系统来对计测对象物的位移进行计测的共焦计测装置。
技术介绍
在在以非接触方式对计测对象物的位移进行计测的计测装置中，专利文献I中公开了利用共焦光学系统来对计测对象物的位移进行计测的共焦计测装置。专利文献I公开的共焦计测装置具有色差透镜，该色差透镜使用于出射多个波长的光的光源(例如白色光源)所出射的光，沿其光轴产生色差。就在专利文献I中公开的共焦计测装置而言，因为根据计测对象物的位移而从色差透镜出射的聚焦的光的波长不同，所以通过针孔(pinhole)的光的波长发生变化，由此通过对通过了针孔的光的波长进行测定来对计测对象物的位移 进行计测。另外，在专利文献2中公开的共焦计测装置，使用衍射透镜来代替色差透镜，从而使从光源出射的光沿其光轴产生色差。此外，专利文献2公开的共焦计测装置，针对从光源到准直透镜为止的光路以及从准直透镜到分光器为止的光路使用了光纤。现有技术文献专利文献专利文献I :美国专利第4585349号说明书专利文献2 :美国专利第5785651号说明书然而，就在专利文献I及专利文献2中公开的共本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2011.03.14 JP 2011-055485;2011.06.10 JP 2011-130231.ー种共焦计测装置，利用共焦光学系统来对计测对象物的位移进行计测，其特征在干， 具有: 光源，其出射多个波长的光， 衍射透镜，其使从所述光源出射的光，沿光轴方向产生色差， 物镜，其配置在比所述衍射透镜更靠近所述计测对象物的ー侧，用于使通过所述衍射透镜而产生了色差的光会聚在所述计测对象物上， 针孔，其使通过所述物镜而会聚的光中的能够对焦于所述计测对象物上的光通过， 測定部，其以波长为单位对通过了所述针孔的光的强度...

【专利技术属性】
技术研发人员：早川雅之，平田真理子，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：