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本发明提供一种可以减少由泵室内的润滑油引起的异常声响或振动的油旋转真空泵。其中，第二泵室P2的内周面N2上，具有形成为与第一曲面部C1连接的第二曲面部C2。第二曲面部C2例如是具有与转子42的外周面相等曲率半径的曲面。由此，叶片52在内周面...
该专利属于ULVAC机工株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过ULVAC机工株式会社授权不得商用。

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