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本发明提供一种利用真空卡盘所要求的吸附力来可靠地吸附载置于吸附面的一部分的被吸附物的真空卡盘。真空卡盘，以大气压作为(P1)，以真空卡盘所要求的最小吸附力作为(Fmin)，背面侧由极限压力为(Pu)、排气效率为(Se)的真空泵吸引的吸附垫的...
该专利属于纳腾株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过纳腾株式会社授权不得商用。

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