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本发明提供一种基板处理装置及一种基板处理方法，其能够防止基板受热并有效地收集残余沉积材料。该基板处理装置包括：一腔室单元，包括一内部空间，该内部空间被划分成一引入段、一薄膜形成段及一卸出段；至少一个材料喷嘴单元，设置于该腔室单元的该薄膜形成...
该专利属于韩商SNU精密股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过韩商SNU精密股份有限公司授权不得商用。

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