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公开了用亲水抑制剂稳定的、含有自由基可固化的官能团的硅倍半氧烷树脂组合物。具有清除自由基的能力的亲水抑制剂如抗坏血酸或水杨酸被用于稳定该树脂。该树脂在半导体形成中是有用的，例如用于抗反射涂层、硬掩模或光致抗蚀剂层。...
该专利属于道康宁公司所有，仅供学习研究参考，未经过道康宁公司授权不得商用。

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