下载掺杂稀土元素的氮化镓粉体材料的制备方法及装置的技术资料

文档序号:7774861

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本发明提供一种掺杂稀土元素的氮化镓粉体材料的制备方法,包括步骤:将含有镓元素的原料装入装置的底部至覆盖位于装置底部的磁子;从气流入口处通入氮气或惰性气体吹扫反应室并保持气流;利用炉体升高反应室内的温度至第一温度,启动磁力搅拌器;继续利用炉体...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;苏州纳维科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;苏州纳维科技有限公司授权不得商用。

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