下载碳材料及其制造方法的技术资料

文档序号:7762313

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本发明的目的在于提供一种尤其在使用卤素气体进行处理的情况下也能够抑制处理后的杂质的放出的碳材料及其制造方法。将碳材料在1Pa以上且10000Pa以下的减压下的H2气体气氛中以500℃以上且1200℃以下进行退火处理。退火处理时间为1分钟以上...
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