下载基于Cu膜退火和Cl2反应的SiC衬底上制备石墨烯的方法的技术资料

文档序号:7755877

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种基于Cu膜退火和Cl2反应的SiC衬底上制备石墨烯的方法,主要解决现有技术中制备的石墨烯表面不光滑、连续性不好、层数不均匀的问题。其制作过程是:(1)对SiC样片进行标准清洗;(2)将清洗后的SiC样片置于石英管中,向石英管...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。