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基于Cu膜退火和Cl2反应的SiC衬底上制备石墨烯的方法技术
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下载基于Cu膜退火和Cl2反应的SiC衬底上制备石墨烯的方法的技术资料
文档序号:7755877
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本发明公开了一种基于Cu膜退火和Cl2反应的SiC衬底上制备石墨烯的方法,主要解决现有技术中制备的石墨烯表面不光滑、连续性不好、层数不均匀的问题。其制作过程是:(1)对SiC样片进行标准清洗;(2)将清洗后的SiC样片置于石英管中,向石英管...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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