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涂布装置以及光掩模件的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:774666
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本发明提供一种当通过喷嘴在基板的被涂布面上涂布涂布液时,能够抑制涂布液的涂布不匀的涂布装置。该涂布装置包括:具有与顶端开口部连通的毛细管状间隙且使涂布液经毛细管状间隙而导向顶端开口部的喷嘴;升降机构部,使该喷嘴的顶端开口部相对于基板的被涂布...
该专利属于HOYA株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过HOYA株式会社授权不得商用。
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