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本发明提供了一种能利用液相法成膜、并有效利用涂敷液的涂敷装置。涂敷装置（１００）包括用于支持被处理对象（基板）的承载部（１０）、用于支持并可以使承载部（１０）旋转的支持装置、以及用于向承载部（１０）喷射涂敷液的多个喷嘴（３０、３２、３４）。...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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