下载有效晶圆布局的偏移场网格的技术资料

文档序号:7737793

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

提供了用于有效晶圆布局的技术,其包含使用偏移网格来优化对可用晶圆空间的使用。这样,相对于标准垂直网格,在晶圆上可制造的相同裸芯片数量可增大。通过添加附加的配准标记,实现了可在何处印刷场的每行/列的灵活性的增大。这个增大的自由度等级又允许优化...
该专利属于A.瓦雷拉;T.L.哈林;D.E.文莱尔所有,仅供学习研究参考,未经过A.瓦雷拉;T.L.哈林;D.E.文莱尔授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。