下载TFT、阵列基板及显示装置、制备该TFT的掩模板的技术资料

文档序号:7736358

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本发明涉及一种TFT、制备该TFT的掩模板及包括该TFT的显示装置,属于显示技术领域。为了消除目前SSM方式中因易出现短沟道效应而导致产率过低、良品率不足的问题,本发明所提供的薄膜晶体管的沟道部结构为通过灰色调掩膜工艺以单隙缝方式来制得,所...
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