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平面镜反射面平整度的检测装置制造方法及图纸
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文档序号:7730191
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本实用新型涉及一种平面镜反射面平整度的检测装置,属于光学技术领域;装置包括激光器、扩束镜、针孔、准值透镜、分束镜、待测平面镜、屏幕;从左到右依次按直线放置,顺序为激光器、扩束镜、针孔、准值透镜和分光镜,激光器和扩束镜两者共轴,扩束镜到针孔的...
该专利属于昆明理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过昆明理工大学授权不得商用。
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