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本申请提供了固化系统，该系统包括用于支撑至少一个层沉积其上的衬底的平面支撑面，至少一个用于固化所述至少一个沉积层的固化设备和用于控制整个固化过程的控制系统。所述固化设备包括至少一个激光器，透镜模组和任选的调制器。固化过程中，从激光器发射出来...
该专利属于韦尔豪泽公司所有，仅供学习研究参考，未经过韦尔豪泽公司授权不得商用。

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