温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种用于碳化硅表面处理的水冷却装置，用于碳化硅晶片在碳化硅表面氢等离子体处理后的冷却，它有冷却室，冷却室内有环状的中空托架，中空托架与推臂固定在一起，中空托架内腔两端分别与推臂内的隔板分隔出的进水腔体、回水腔体的内腔相连通，...
该专利属于滨州职业学院所有，仅供学习研究参考，未经过滨州职业学院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。