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一种硅片背面喷砂加工用托垫，它包括：垫体(4)，垫体上开有多个托槽(5)，托槽的间隙设有固定用螺丝孔(6)。垫体上开有的多个托槽为多行或多列或交错排列。本实用新型的优点是：改变传统的更换方式，由原来的逐个更换，改变为整体性更换，并且固定方式...
该专利属于有研半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过有研半导体材料股份有限公司授权不得商用。

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