温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种基板处理装置，能够正确地测定从狭缝喷嘴喷出的处理液的状态。该基板处理装置设置有在狭缝喷嘴（４１）的二次侧设置的抽取空气用的配管（４２）。使配管（４２）与设置在狭缝喷嘴（４１）的一次侧的配管（６３）不直接连通而独立，并且，使配管（４２）直...
该专利属于大日本网目版制造株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大日本网目版制造株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。