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本发明涉及一种微机电（MEMS）装置（100），其具有集成电路芯片（101）和包含基于引脚框的塑料模塑主体（120）的封装体，该主体（120）具有穿过主体厚度（121）的开孔（122）。活动箔片部件（130）可在主体（120）中锚定并至少部...
该专利属于德克萨斯仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德克萨斯仪器股份有限公司授权不得商用。

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