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在装置（100）的实施方式中，该装置被设立用于激光剥离方法以从载体（3）分离至少一个层（2）。该装置（100）包括用于生成例如脉冲式激光束（L）的激光器以及至少一个分束器（4a，4b）。所述激光束（L）借助于至少一个分束器（4a，4b）被划...该专利属于奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司授权不得商用。
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