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本发明提供了一种电阻温度系数测量的方法,包括在不同的温度下通过探针与针垫的接触测量器件的各个电阻值,所述针垫与所述器件连接,通过不同温度下测得的各个电阻值获得所述器件的电阻温度系数,在每次改变温度测量电阻之前,调整所述探针对所述针垫的压力,...该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种电阻温度系数测量的方法,包括在不同的温度下通过探针与针垫的接触测量器件的各个电阻值,所述针垫与所述器件连接,通过不同温度下测得的各个电阻值获得所述器件的电阻温度系数,在每次改变温度测量电阻之前,调整所述探针对所述针垫的压力,...