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本发明涉及半导体测试领域，涉及一种半导体材料的激光激发荧光与白光反射的同步测量装置，更具体的说涉及LED外延片非接触式测试装置。本发明装置包括：在支撑板（2）上固定的光谱仪（3）、收光装置（4）、激光器安装架（5）、激光器（6）、分光镜装置...
该专利属于北京中拓机械有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中拓机械有限责任公司授权不得商用。

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