下载一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收层的制备方法的技术资料

文档序号:7680098

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本发明公开了一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收层的制备方法,该方法首先采用射频磁控溅射技术在清洗干净的玻璃衬底上制备金属钼背电极,以铜铟合金靶和铜镓合金靶为溅射靶材,以氩气作为溅射气体,采用射频磁控溅射技术,以双靶交替溅射的方式,制备成Mo/C...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。

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