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本发明提供一种多功能PVD镀膜机，包括真空室、设置在真空室内的导电工件转架、等离子电弧蒸发源和电弧电源，还包括脉冲偏压电源、中频溅射源、中频电源、气体离子源、离子源电源，所述脉冲偏压电源和等离子电弧蒸发源、中频溅射源、气体离子源通过四组开关...
该专利属于上海仟纳真空镀膜科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海仟纳真空镀膜科技有限公司授权不得商用。

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