下载聚对二甲基苯沉积系统的技术资料

文档序号:7680090

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本发明的聚对二甲基苯沉积系统包括彼此依次连结的一蒸发管、一裂解管、一纯化储气槽、一沉积腔体、一冷凝机以及一真空泵,其中,裂解管与纯化储气槽彼此连结的位置具有一第一高度,纯化储气槽与沉积腔体彼此连结的位置具有一第二高度,且第一高度大于第二高度...
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