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一种MEMS惯性传感器结构压膜阻尼可调装置制造方法及图纸
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文档序号:7678558
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一种MEMS惯性传感器结构压膜阻尼可调装置,主要由阻尼帽、键合衬底、二氧化硅层、氮化硅层、键合金属层、电阻正极、电阻负极、上极板电极、下极板电极、固定基座、硅弹性膜、凹腔、上极板金属层、下极板金属层、上极板金属层引出线、下极板金属层引出线、...
该专利属于中北大学所有,仅供学习研究参考,未经过中北大学授权不得商用。
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