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喷嘴构件、具有该构件的处理液供给装置及利用该构件供给处理液的方法制造方法及图纸
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下载喷嘴构件、具有该构件的处理液供给装置及利用该构件供给处理液的方法的技术资料
文档序号:767845
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本发明关于一种喷嘴构件、具有该喷嘴构件的处理液供给装置及利用该喷嘴构件供给处理液的方法。在供给处理液的喷嘴构件中,喷嘴构件包括壳体,设置在所述壳体内的多个供给单元,不同的处理液通过各个供给单元流到基板上,以及分别与所述供给单元连接的多个喷嘴...
该专利属于细美事有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过细美事有限公司授权不得商用。
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