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本实用新型公开了一种校准模具，用于校准晶圆盒的盒盖上的外凸的固定件，所述固定件具有外凸的头部，所述校准模具包括一长方形块，所述长方形块的纵向侧壁排列设置多个大小和形状与所述固定件的头部相匹配的卡槽，所述卡槽和所述固定件一一对应。使用时，将长...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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