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本实用新型涉及一种大面积卷对卷柔性衬底表面喷射裂解硒源用装置，包括硒源蒸发室和真空腔室内的衬底，其特点是：所述硒源蒸发室的蒸气出口通过管路连接有高温裂解室；所述高温裂解室腔体内壁上固装有两层及以上布满孔径小于0.5mm的多孔栅板。本实用新型...
该专利属于中国电子科技集团公司第十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十八研究所授权不得商用。

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