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本发明提供加压模块、加压装置以及基板贴合装置。在通过加压来接合基板的情况下，基板面内的压力均匀性成为问题。提供一种加压模块，该加压模块具备：工作台，该工作台具有载置被加压体的载置面；压力可变部，该压力可变部使上述载置面的面内的压力分布可变；...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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