温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种阵列基板的制造方法及阵列基板、显示器,涉及显示领域,用以保护TFT的有源层。所述制造方法包括:在衬底基板上制作底层金属薄膜,并通过一次构图工艺至少形成薄膜晶体管的栅极;制作覆盖所述栅极的栅绝缘层;制作金属氧化物半导体薄膜,并...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种阵列基板的制造方法及阵列基板、显示器,涉及显示领域,用以保护TFT的有源层。所述制造方法包括:在衬底基板上制作底层金属薄膜,并通过一次构图工艺至少形成薄膜晶体管的栅极;制作覆盖所述栅极的栅绝缘层;制作金属氧化物半导体薄膜,并...