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在包括对比度增强元件的TEM中使光学元件居中的方法技术
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下载在包括对比度增强元件的TEM中使光学元件居中的方法的技术资料
文档序号:7662887
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本发明涉及一种用于在透射电子显微镜(TEM)中调整或对准一个或多个光学元件的方法,该TEM(500)配备了用于引导电子射束到样本(508)的物镜(512),并且该TEM示出了衍射平面(514),在该衍射平面中至少聚焦了非散射的电子射束,该T...
该专利属于FEI公司所有,仅供学习研究参考,未经过FEI公司授权不得商用。
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