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基于微环谐振器的一位二进制光学数值比较器制造技术
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下载基于微环谐振器的一位二进制光学数值比较器的技术资料
文档序号:7662414
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一种基于微环谐振器的一位二进制光学数值比较器,包括:一第一微环谐振器,包括一硅基纳米线微环,一输入光波导,一直通光波导,一下载光波导;一第二微环谐振器,包括一硅基纳米线微环,一第一输入光波导,一第二输入光波导,一第一直通光波导,一第二直通光...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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