下载一种高纯度磷化铟多晶棒的制备方法的技术资料

文档序号:7661527

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本发明公开了一种高纯度磷化铟多晶棒的制备方法,其步骤如下:在高压炉中设置坩埚,将高纯度铟置于坩埚中,高纯度无水氧化硼覆盖在高纯度铟之上;将高纯度磷蒸汽注入熔化的高纯度铟中,在高纯度无水氧化硼覆盖下,直接合成磷化铟;用引上杆将磷化铟多晶从磷化...
该专利属于南京金美镓业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京金美镓业有限公司授权不得商用。

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