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本发明涉及通过蒸馏纯化氯硅烷的方法，其包括提供包括TCS、DCS和STC的氯硅烷的含硼的混合物，通过在多个蒸馏塔中进行蒸馏来纯化氯硅烷的混合物，其中通过包含富含硼的DCS的塔顶料流从蒸馏塔分流出低沸点的硼化合物，并通过包含高沸点物的富含硼的...
该专利属于瓦克化学股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过瓦克化学股份公司授权不得商用。

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