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本发明提供一种振动装置，其包括驱动器和连结部件，连结部件包括：第1水平线性导向件，以使工作台沿第1水平方向滑动自如的方式支承工作台；铅垂线性导向件，以使工作台沿铅垂方向滑动自如的方式支承工作台；中间工作台，通过将其一表面固定于第1水平线性导...
该专利属于国际计测器株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过国际计测器株式会社授权不得商用。

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