下载一种晶体硅纳米-微米复合绒面的制备方法的技术资料

文档序号:7636998

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本发明涉及一种晶体硅纳米-微米复合绒面的制备方法。其技术特征在于先将晶硅硅片进行清洗、制绒,形成微米级绒面;然后在硅片表面均匀覆盖一层非连续纳米级贵金属粒子;再用化学腐蚀液选择性腐蚀硅片表面,形成纳米级绒面;最后用化学溶液清洗去除贵金属粒子...
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