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本发明提供了一种制备晶体硅太阳能电池沉积减反射薄膜的方法，包括以下步骤：在反应装置中充入氮气，将反应装置中的温度升至反应温度；在预反应压强下，以恒定流量向反应装置中充入氨气，在反应装置中发射预反应射频，使其保持一段时间；预反应压强不变、反应...
该专利属于英利能源（中国）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过英利能源（中国）有限公司授权不得商用。

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